热式气体质量流量计通过测量气体流经流量计内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

优点：

1.热式气体质量流量计可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量；浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式气体质量流量计更适合于大管径。

2.热式气体质量流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小。

3.热式气体质量流量计使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

缺点：

1.热式气体质量流量计响应慢。

2.被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

3.对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。

4.对于热分布式热式气体质量流量计，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。

5.对脉动流在使用上将受到限制。

6.液体用热式气体质量流量计对于粘性液体在使用上亦受到限制。